起源 |
您是否想过为何会有涡轮分子泵？那是因为在1958年普发真空杰出的先驱发明了这种划时代的产品-涡轮分子泵。如今，在广泛的应用领域中，我们的涡轮分子泵代表着最新一代的真空解决方案，并且引领着行业的发展方向。其应用范围不仅仅局限于分析仪器、真空工艺过程和半导体技术行业，而且还可以应用于镀膜，研发和其他工业应用领域。涡轮分子泵家族拥有从抽速10-2700升/秒的全系列产品。它们都拥有着很高的性价比和灵活的安装方式。经过实践验证的轴承系统提供了更优化的可靠性。成熟精湛的转子设计使其具有绝对出色的抽气速度，更好的前级泵兼容性和更大的气流量，对小分子气体具有更高的压缩比。 |
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系列 |
HiPace® 10– 800: |
HiPace® 1200–2300: |
HiPace® 300–800 M, ATH 500 M: |
ATH 1600–3200 M: |
球轴承或复合轴承涡轮分子泵 HIPACE 10-800 抽速等级在10-800 L/S 的紧凑型 产品型号：HiPace 10/Hipace 80/Hipace 300/Hipace400/Hipace 700/Hipace 800 |
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产品优势 ■抽速从10-800升/秒的全系列产品 ■稳健性工业设计(Robust Design)和经过实践证明的高可靠性轴承系统 ■紧凑型结构以满足更小的物理空间安装需求 ■高气流量和高抽速 ■可任意角度安装 ■防护等级IP54符合工业环境应用要求 ■可应用于腐蚀性气体工况 ■SEMI S2 和 UL 认证 ■完整的配件系统扩展了潜在客户的需求 ■更长的维护保养时间 ■可现场更换轴承 |
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复合轴承涡轮分子泵 抽速等级在1000 - 2000 L/S 的紧凑型 产品型号：HiPace 1200/Hipace 1500/Hipace 1800/Hipace 2300 |
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产品优势 ■从1000-2000升/秒提供四个抽速等级 ■对小分子量气体(H2, He)和大分子量气体(Ar, CF4)都有很高的抽速 ■即便对大分子量气体(Ar, CF4)也有很高的气流量 ■安装角度可选0°-90°和90°-180° ■有抗腐蚀性气体型号可选(C型号) ■带节流阀和阀门的集成净化气体系统 ■电压范围90 - 265 V ■界面接口：RS-485, 远程控制；Profbus或DeviceNet可选 ■获得SEMI S2, UL, CSA和 TÜV认证 ■防护等级IP54符合工业环境应用要求 ■最大可能的符合各种工艺过程，能够忍受颗粒物 |
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磁悬浮涡轮分子泵 抽速等级在300-800升/秒的紧凑型 产品型号：HIPACE® 300 – 800 M, ATH 500 M |
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产品优势 ■安装简便 ■任意角度安装 ■集成控制器 ■无润滑油的磁轴承技术实现真正的洁净真空 ■对所有过程气体都能实现高气流量 ■低震动及低磁场干扰 ■动平衡自动补偿 ■转速范围大 ■出色的稳定性和可靠性 |
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磁悬浮涡轮分子泵 抽速等级在1400-2800升/秒的紧凑型 产品型号：ATH 1600 – 3200 M, ATP 2300 M |
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产品优势 ■ 无润滑油的磁轴承技术实现真正的洁净真空 ■ 对所有过程气体都能实现高气流量 ■ 出色的稳定性和可靠性 ■ 更好的前级泵兼容性 ■ 气体进入稳定性高 ■ 免维护低成本保养费 ■ 转速可选范围大，适合定制化工艺需求 ■ 极低的噪音和震动 ■ 可任意角度安装 ■ 磁轴技术实现转子实时监测 |
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